Công nghệ mới chế tạo chất bán dẫn từ chất lỏng

12:00' AM - Thứ bảy, 12/08/2006

Một ngày nào đó, công nghệ chế tạo chất bán dẫn dung dịch tiền chất dạng lỏng chứa silic sẽ thay thế phương pháp kết tủa hơi truyền thống để sản xuất các vi mạch. Phương pháp này do các nhà nghiên cứu ở Nhật Bản phát triển, có thể cho phép sử dụng phương pháp in phun với chi phí thấp để sản xuất các màn hình lớn và thiết bị điện tử tiên tiến khác.

Hiện nay "bộ não" silic của các thiết bị điện tử được cấu trúc qua các quá trình vô cùng chính xác và cần nhiều năng lượng. Silic tinh khiết cao được gia nhiệt, bay hơi trong chân không và kết tủa trên nền giá thể theo từng lớp. Nói chung, toàn bộ quá trình gồm nhiều bước tinh chế, kết tủa, khắc ăn mòn để chuyển màng silic rắn thành mạch chức năng.

Các phương pháp đơn giản hơn là sử dụng chất lỏng với công nghệ in với độ phân giải cao để "vẽ" các mạch chính xác bằng "mực" tạo màng chất bán dẫn.

 Hiện nay, một nhóm nghiên cứu ở Nhật Bản đã dùng silan, là một chất lỏng ở nhiệt độ phòng, và sử dụng các công nghệ đặc biệt để tạo thành các màng silic rắn chất lượng cao, sau đó thành các tranzito dạng màng.

Để hình thành màng, Masahiro Furusawa và Tatsuya Shimoda của Công ty Seiko Epson, Yasuo Matsuki của Công ty JSR, và các cộng sự đã chiếu xyclopentasilan  (Si5H10) bằng ánh sáng cực tím, do đó làm cho chất này  (lỏng ở nhiệt độ phòng) mở vòng phân tử và polyme hóa dẫn đến tạo thành các mạch polysilan không bay hơi. Sau đó, các nhà nghiên cứu làm nóng polysilan để phân hủy và hình thành màng silic vô định hình. Tiếp tục xử lý màng vô định hình bằng bức xạ tia cực tím cường độ cao để chuyển nó thành màng silic đa tinh thể có trật tự hơn.

Các nhà nghiên cứu đã chế tạo ra các tranzito màng mỏng, đo đặc tính điện tử của thiết bị và so sánh đặc tính điện tử với các màng đã được chuẩn bị qua quá trình kết tủa thông thường.

Lisa Rosenberg, giáo sư hóa học tại đại học Victoria, Anh, cho biết phương pháp này cho phép tạo ra các mạch linh hoạt, đơn giản và rẻ dùng cho màn hình cũng như các ứng dụng khác.

K.Z

Theo Chemical &

Engineering News, 4/ 2006

Sponsor links (Provided by VIEPortal.net - The web cloud services for enterprises)